标的名称：激光特种薄膜气相沉积镀膜系列设备
数量/单位：1批
预算金额（元）：2940000.00

采购目录：A02100309激光仪器

需实现的主要功能或者目标：本设备旨在构建一套集飞秒激光微纳加工、薄膜制备与性能表征于一体的协同研究系统，支撑表面功能材料的跨尺度设计与综合性能评价。其中，飞秒激光加工装置，主要实现靶材烧蚀汽化和微纳尺度的精准控制能力；真空高压环境装置，主要用于制备高纯度、高致密度的功能性薄膜，并通过环境控制降低激光加热带来的污染风险；小型扫描电子显微镜，主要用于薄膜微区元素的定量分析和表面/截面微观结构的成像表征；固态隔振光学平台为激光镀膜与测试提供稳定、灵活的操作基础；激光功率计，主要用于精准测量激光输出的功率和能量，保障薄膜制备工艺的可控性；真空干燥箱主要实现薄膜器件的后处理与性能优化；电化学工作站则用于评价薄膜器件的电化学特性。

需满足的质量、服务、安全、时限等要求： 按甲方要求；按甲方要求； 按甲方要求； 按甲方要求。